下载用于在连续过程中湿法化学处理薄平面衬底的方法和装置的技术资料

文档序号:3170266

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本发明涉及一种用于在连续过程中对薄平面的且易断裂的衬底进行湿法化学处理(清洗、蚀刻、剥离、涂层、脱水)的方法和装置,其中衬底运输以及湿处理通过吸收介质的辊子进行。...
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