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提供了一种在蚀刻层中提供特征的方法。在该蚀刻层上形成牺牲层。将牺牲层特征组蚀刻入该牺牲层。穿过该牺牲层将第一蚀刻层特征组蚀刻入该蚀刻层。利用填充材料填充该第一蚀刻层特征组和该牺牲层特征组。去除该牺牲层。利用侧壁沉积物收缩在该填充材料的部分之...
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