下载位于保护性层顶部上的高密度高Q值电容器的技术资料

文档序号:3170100

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依照本发明,提供集成电路(100)及其制造方法,该集成电路包含半导体衬底(105),该半导体衬底包含装置元件和互连装置元件并具有最上层(115)的金属化层(110)。该集成电路也可以包括在金属化层上面形成的保护性涂层(120),该保护性涂层...
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