温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型实施例公开了一种支撑装置及CVD反应器,涉及产品放置架技术领域。所述支撑装置包括多个支撑柱,多个圆形骨架,第一支撑架以及第二支撑架;多个支撑柱呈圆形布置;多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上;第一支撑架设置在圆形骨架内,用于支撑产品...该专利属于宜兴市海飞陵电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜兴市海飞陵电子科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型实施例公开了一种支撑装置及CVD反应器,涉及产品放置架技术领域。所述支撑装置包括多个支撑柱,多个圆形骨架,第一支撑架以及第二支撑架;多个支撑柱呈圆形布置;多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上;第一支撑架设置在圆形骨架内,用于支撑产品...