下载一种支撑装置及CVD反应器的技术资料

文档序号:31700812

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本实用新型实施例公开了一种支撑装置及CVD反应器,涉及产品放置架技术领域。所述支撑装置包括多个支撑柱,多个圆形骨架,第一支撑架以及第二支撑架;多个支撑柱呈圆形布置;多个圆形骨架间隔设置在多个支撑柱上;第一支撑架设置在圆形骨架内,用于支撑产品...
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