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本发明涉及一种ＺｎＯ／纳米金刚石薄膜紫外光探测器制备方法，属纳米无机化合物能源材料制造工艺技术领域。该方法是将ＺｎＯ薄膜以磁控溅射法沉积在纳米金刚石薄膜上，以高纯ＺｎＯ陶瓷靶为溅射靶材，通入氩气，调节流量为４０标准毫升／分；调节反应气压为０...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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