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本发明涉及一种滤波器、滤波器封装结构及滤波器制造方法，主要通过结构上的设计以及制造工艺上的调整，解决了现有制程中化学液会沿晶圆上的切割道渗入到内部，从而对滤波器功能部件造成腐蚀的问题。其方法是在晶圆的切割道中也形成键合体，即将现有技术中盖晶...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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