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一种准直镜在线检测装置制造方法及图纸
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文档序号:31694005
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本实用新型公开了一种准直镜在线检测装置,包括工作台、搬运机构、第一相机以及控制器,所述搬运机构设置于所述工作台上,以用于搬运准直镜,所述第一相机用于所述搬运机构搬运准直镜的过程中检测准直镜,所述第一相机和所述搬运机构均与所述控制器连接。根据...
该专利属于湖南戴斯光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南戴斯光电有限公司授权不得商用。
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