下载制备太阳盲紫外探测器的方法的技术资料

文档序号:3168702

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本发明涉及紫外探测器的制备方法,特别是一种制备太阳盲紫外探测器的方法,采用金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备氧锌镁膜层,在该氧锌镁膜层上再蒸镀Au膜层,用湿法刻蚀Au膜层制备出叉指形电极,所述的氧锌镁膜层是在以下工艺条件下获得的具有单...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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