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用于极紫外光源中的流体控制的流体控制设备和方法技术
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下载用于极紫外光源中的流体控制的流体控制设备和方法的技术资料
文档序号:31684876
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一种流体控制设备(100),包括:结构(120),限定阀腔、第一流体端口(135)、第二流体端口(140)和第三流体端口(145),第三流体端口(145)被配置为流体地联接到主体的气密内部(105);以及柱塞阀(130),位于阀腔内并且被配...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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