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本实用新型公开了一种晶圆清洗涂覆用旋转吸附固定装置，其包括支撑架、固定在所述支撑架上的旋转电机、受所述旋转电机驱动进行旋转运动的旋转主轴、固定在所述支撑架上且套设在所述旋转主轴外的供气单元、固定在所述旋转主轴顶部的旋转支撑台、固定在所述旋转...
该专利属于瑟福迪恩半导体设备技术（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑟福迪恩半导体设备技术（苏州）有限公司授权不得商用。

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