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红外线吸收体及热型红外线检测器制造技术
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文档序号:3167316
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红外线吸收膜(2),具备:含有TiN的第一层(21),及含有Si系化合物的第二层(22),将从第二层(22)侧入射的红外线的能量变换成热。TiN对比8μm短的波长区域的红外线的吸收率高,另一方面对比8μm长的波长区域的红外线反射率高。因此,...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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