温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例提供表面检查方法、表面检查装置和计算机可读存储介质。根据本发明实施例的表面检查方法包括：获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据，所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓，所述第二边缘检测数据...
该专利属于株式会社理光所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社理光授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。