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一种可充分利用氙气的充排气装置制造方法及图纸
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下载一种可充分利用氙气的充排气装置的技术资料
文档序号:3166285
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一种氙气充排气装置,它主要由一个充排气系统组成,所述充排气系统包括一个四通连接件以及分别与该四通连接件四个端口连接的三个阀门和一个电弧管排列管道,三个阀门分别连接抽真空装置、冲洗气体进口和工作气体氙气进口,所述电弧管排列管道上可同时放置多只...
该专利属于海宁新光阳光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海宁新光阳光电有限公司授权不得商用。
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