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本发明提出了薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器，所述薄膜体声波谐振器结构。薄膜体声波谐振器包括带有梯形凹槽的基体；所述基体上方布设有缓冲层；所述凹槽和缓冲层之间形成第一空腔；所述缓冲层上方设置有几字形压电层；所述压电层的几字形凸起下表...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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