下载四极质谱计相对灵敏度校准系统的技术资料

文档序号:3163566

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本实用新型涉及四极质谱计的相对灵敏度校准,属于校准领域。四极质谱计相对灵敏度校准系统由被校四极质谱计、质谱室、高真空压力测量规、进样系统、高真空抽气系统和计算机组成。其中被校四极质谱计用于测量质谱室内的气体组分含量,质谱室提供四极质谱计所需...
该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所授权不得商用。

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