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本实用新型公开了一种用于真空吸附过程的除水装置,包括控制芯片、主气罐、从气罐、主气罐管路和从气罐管路;主气罐管路和从气罐管路的结构相同,均包括:用于提供工作台真空和使气罐内部保持真空状态的真空供气气路和用于气罐内排水的排水正压气路;控制芯片...该专利属于江苏京创先进电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏京创先进电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于真空吸附过程的除水装置,包括控制芯片、主气罐、从气罐、主气罐管路和从气罐管路;主气罐管路和从气罐管路的结构相同,均包括:用于提供工作台真空和使气罐内部保持真空状态的真空供气气路和用于气罐内排水的排水正压气路;控制芯片...