下载使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法的技术资料

文档序号:31614724

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法,所述方法包括提供样本,和提供带电粒子束以及将所述带电粒子束引导到所述样本上,用于生成一定通量的透射穿过所述样本的带电粒子。所述方法包括以下步骤:生成并记录透射穿过所述样本的带电粒子的...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。