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使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法技术
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下载使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法的技术资料
文档序号:31614724
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本公开涉及一种使用透射带电粒子显微镜对样本进行成像的方法,所述方法包括提供样本,和提供带电粒子束以及将所述带电粒子束引导到所述样本上,用于生成一定通量的透射穿过所述样本的带电粒子。所述方法包括以下步骤:生成并记录透射穿过所述样本的带电粒子的...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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