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一种用于超紫外线微型光刻的毛细管超紫外灯光源装置和方法。毛细管光源包括：灯体（３０６）；具有电极（３００）、绝缘体（３０２）和放电等离子体区域（３０４）的内孔。...
该专利属于中佛罗里达大学所有，仅供学习研究参考，未经过中佛罗里达大学授权不得商用。

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