下载一种能够抑制横向模式的声表面波器件及其制作方法的技术资料

文档序号:31576774

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种能够抑制横向模式的声表面波器件,包括设置在压电基板上的叉指电极,所述叉指电极的边缘区域设有与所述叉指电极主体部分材料密度不同的替换部。还公开了一种能够抑制横向模式的声表面波器件制作方法。本发明通过采用密度不同的材料替换叉指电...
该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。