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本实用新型公开了一种纳米薄膜制备及化学状态测试系统，系统包括制备室以及与制备室连接的分析室，制备室和分析室均为真空，且制备室的真空度小于分析室的真空度；制备室内具有氩离子枪和制备平台；分析室内具有X射线光电子能谱分析仪，X射线光电子能谱分析...
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