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本发明提供了在用喷墨头那样的液滴吐出头吐出液状材料进行成膜的情况下，可以减少由液状材料的吐出量的不均一造成的不均匀的装置和方法。此外，还提供了在利用液状材料的吐出的成膜技术中，即使对于各种的对象物也可以在抑制成本的增大的同时提高处理效率的装...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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