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本实用新型的一种陶瓷压环，包括呈圆环形状的陶瓷压环本体，以陶瓷压环本体内周面的一端边缘向内固定形成有晶圆承载盘按压边沿，晶圆承载盘按压边沿具有可按压在加工平面上的按压面，所述的晶圆承载盘按压边沿具有弧形缺口；晶圆承载盘二次按压边沿。设置晶圆...
该专利属于连云港旭晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连云港旭晶光电科技有限公司授权不得商用。

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