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本发明涉及金属高能Ｘ射线聚焦组合透镜的制作工艺。金属高能Ｘ射线聚焦组合透镜包括衬底（１）、电铸阴极薄膜（２）、金属透镜阵列（３）、空气隙（４），其制作工艺为：清洁衬底，上表面生长金属薄膜作为电铸阴极，涂覆正性光刻胶并固化，在其上涂覆ＳＵ８负...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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