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一种等离子体处理系统（１０），能将射频能量有效耦合到真空室（１８）内的真空处理空间（２４）内的等离子体。该等离子体处理系统（１０）包括一截头圆锥体电绝缘窗体（１４、８５），设在电绝缘窗体（１４、８５、９４）外侧的感应元件（１８），和设在室壁...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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