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本实用新型公开了SPM工艺用混液喷淋装置，包括进液板、装置本体、高精度喷头、输送管路和温度探头，装置本体的内部成型有混合腔室，进液板固定在装置本体的一侧，进液板内成型有硫酸进液口和双氧水进液口，且硫酸进液口和双氧水进液口均与混合腔室连通设置...
该专利属于昆山基侑电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山基侑电子科技有限公司授权不得商用。

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