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本发明通过将至少两种不同类型的粉末混合在一起并用粉末冶金法固结粉末以形成坯料，从而形成用于沉积器械的靶。然后由坯料形成靶。靶包括具有第一ＰＴＦ的第一材料相和具有高于第一ＰＴＦ的第二ＰＴＦ的第二材料相。第二ＰＴＦ也高于具有和靶相同的化学组成的...
该专利属于黑罗伊斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过黑罗伊斯有限公司授权不得商用。

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