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实施一种等离子体－支持工艺的装置，特别是实施一种等离子体－支持的气相化学淀积的装置，其在一个真空腔中具有至少一个电磁管－电极，该电极是不平衡型号的电极并且具有一个平的电磁管－前面（２０）以及与一个交变电压相连，所述电磁管－前面具有磁性相互对...
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