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本实用新型公开了种用于物理气相沉积的腔室结构，包括工作箱、移动装置、加热釜和真空泵，工作箱内部底端的两侧固定设置有移动装置，移动装置内部的一侧固定安装有旋转电机，旋转电机的一侧固定连接有螺旋轴，螺旋轴外部的一侧活动连接有第一活动块。本实用新...
该专利属于株洲科汇钛力新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过株洲科汇钛力新材料有限公司授权不得商用。

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