温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种分配气体进入一制程室的设备，其至少包含：　　　　一气体分配板，其界定出多个位于其上的孔洞；　　　　一挡板，其界定出多个位于其上的孔洞；　　　　一第一气体通道，设置成可传送一第一气体穿过该挡板及该气体分配板；及　　　　一第二气体通道，设置...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。