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本实用新型公开了一种硅部件清洗存放装置，包括用于承接水来清洗硅部件的清洗槽，所述清洗槽内设有用于放置硅部件的清洗架，所述清洗架上设置有用于清洗硅部件的清洗装置，所述清洗装置包括若干个设于所述清洗架上用于向放置于所述清洗架上的硅部件喷射水流的...
该专利属于福建精工半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建精工半导体有限公司授权不得商用。

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