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本申请涉及固晶技术领域，本申请公开一种晶片夹夹持装置。该晶片夹夹持装置包括晶片夹具；旋转运动机构，使得晶片夹具在平面内旋转；以及，直线运动机构，使得晶片夹具直线方向运动；其中，旋转运动机构和直线运动机构中任一个与晶片夹具连接，旋转运动机构和...
该专利属于深圳市卓兴半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市卓兴半导体科技有限公司授权不得商用。

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