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一种复合式氧传感器芯片制造技术
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下载一种复合式氧传感器芯片的技术资料
文档序号:31524233
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本实用新型公开了氧传感器技术领域的一种复合式氧传感器芯片,包括保护层,保护层的下方设置有上铂电极,上铂电极下方设置有第一基体层,第一基体层的前端的上、下侧分别开设有上废气通道槽和下废气通道槽,第一基体层的下方设置有中铂电极,中铂电极的下方设...
该专利属于浙江新瓷智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江新瓷智能科技有限公司授权不得商用。
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