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一种挡板组件，设置为耦合到等离子为体处理系统中的衬底支架，该组件包括挡板（６４），挡板具有一个或更多个开口，以允许通过其的气体通道，其中挡板耦合到衬底支架便于等离子体处理系统中挡板的自动定心。安装在衬底支架中的定心环（１００）可包括设置为与...
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