下载在衬底上图形化结构的装置和方法的技术资料

文档序号:3152001

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一种用来在衬底上图形化结构的装置,此装置包含成像装置,此成像装置具有扫描尖端、发光器件、以及扫描尖端周围的空间,此空间包含适合于在分解时化学气相淀积到衬底上的材料蒸汽,其中,发光器件被用来发射光束,此光束所具有的强度不能分解蒸汽,此光束以这...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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