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本发明公开一种用于从等离子产生离子束的离子源（１００）。在阳极（１１２）的中心处通过可电离气体的高能电子和分子之间的碰撞产生等离子。电子源自阴极丝，并且通过施加的电势被加速到阳极（１１２）。阳极的突起（１２３）和具有与阳极的轴线对齐的轴线的...
该专利属于塞恩技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞恩技术有限公司授权不得商用。

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