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一种离子束照射装置，具有真空室（１０）、离子源（２）、衬底驱动机构（３０）、旋转轴（１４）、臂（１２）以及电机。离子源（２）被布置在真空室（１０）的内部，并且发射宽度比衬底（６）大的离子束（４）到衬底（６）。衬底驱动机构（３０）往复驱动真空...
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