下载一种有效克服工件头尾蚀刻效果差异的装置的技术资料

文档序号:31511897

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本发明公开了一种有效克服工件头尾蚀刻效果差异的装置,属于蚀刻领域,一种有效克服工件头尾蚀刻效果差异的装置,包括蚀刻仓,所述蚀刻仓内设有喷头组,所述喷头组具体由第二喷杆、第一喷杆组成,所述喷头组下方设有多个主动滚轮,所述蚀刻仓一端设有进料口;...
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