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本发明实施例公开了一种改善氮掺杂晶圆翘曲度的加工方法和系统；该方法可以包括：基于氮含量分布将所述待切割的氮掺杂晶棒划分为多个待加工晶棒段；其中，每个待加工晶棒段均对应于一氮含量区间；根据氮含量区间与加工条件之间的对应关系确定每个待加工晶棒段...
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