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本发明涉及离子注入机的电源ＡＬＴ，包括：设置于衬底支承台ＰＰＳ和大地Ｅ之间的电发生器ＳＯＵ，以及同样设置于衬底支承台和大地之间的分流支路中的电容器ＣＤＳ。所述电容器ＣＤＳ的电容低于５纳法。本发明的目的还在于提供一种包括所述电源的离子注入机。...
该专利属于离子射线服务公司所有，仅供学习研究参考，未经过离子射线服务公司授权不得商用。

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