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本发明实施例公开了一种氮掺杂硅熔体获取设备、方法及氮掺杂单晶硅制造系统，所述获取设备包括：制粒装置，所述制粒装置用于利用多晶硅原料块制备粒径均匀的多数量的多晶硅颗粒；反应装置，所述反应装置用于使所述多数量的多晶硅颗粒与氮气发生化学反应以获得...
该专利属于西安奕斯伟材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技有限公司授权不得商用。

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