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一种用于金刚石的生长装置及方法制造方法及图纸
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下载一种用于金刚石的生长装置及方法的技术资料
文档序号:31507360
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本发明涉及金刚石生产技术领域,尤其涉及一种用于金刚石的生长装置,包括十字形管件,所述十字形管件的外侧设置有加热套管,且十字形管件的内部设置有金刚石沉积衬底,还包括:混气机构,所述混气机构和十字形管件之间通过细管相连通;以及放电机构,所述放电...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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