下载一种片上光源调制系统的技术资料

文档序号:31505782

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本发明公开了一种片上光源调制系统,包括:硅基底、二氧化硅埋氧层和氮化硅层,氮化硅层包括依次设置的第一波导至第四波导,第一波导和第二波导之间设置有微环谐振腔,且微环谐振腔与第一波导之间的间距为第一设定距离,微环谐振腔与第二波导之间的间距为第二...
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