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本发明实施例提供一种压电薄膜的形成方法及体声波谐振装置的形成方法，其中，压电薄膜的形成方法包括：提供第一基底；形成牺牲层，位于第一基底上；形成压电层，位于牺牲层上；采用激光照射第一基底，用于汽化所述牺牲层；去除第一基底，形成压电薄膜。本发明...
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