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一种片上集成倍频器件及其制备方法技术
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文档序号:31504403
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本发明公开了一种片上集成倍频器件及其制备方法,其中片上集成倍频器件包括:铌酸锂衬底;导电金属层,设置在所述铌酸锂衬底上;二氧化硅层,设置在所述导电金属层上;啁啾极化铌酸锂薄膜层,设置在所述二氧化硅层上,包括多个依次排列且长度不等的畴结构,多...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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