下载一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:31503301

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本发明公开了一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法,通过在所述基底沉积金属结构,再采用湿法刻蚀技术将石墨烯转移至金属结构表面,接着利用光刻技术以及等离子去胶机设备去除多余部分石墨烯,实现图案化石墨烯,将形成的石墨烯器件置于硝酸溶液中,控...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。

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