一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法，通过在所述基底沉积金属结构，再采用湿法刻蚀技术将石墨烯转移至金属结构表面，接着利用光刻技术以及等离子去胶机设备去除多余部分石墨烯，实现图案化石墨烯，将形成的石墨烯器件置于硝酸溶液中，控制硝酸浓度、处理温度及时间等制备参数，获得所述的基于硝化石墨烯的氨气传感器，制备的传感器结构简单，成本低廉，同时具有灵敏度高、响应速度快、重复性好、常温下工作、测量浓度下限低等特点，解决了现有技术中石墨烯氨气传感器存在的技术问题。技术问题。技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及石墨烯
，尤其涉及一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]氨气是工业中常见的一种有毒气体，如果大量的暴露，会损害人体细胞，对皮肤、眼睛和呼吸道造成伤害。此外，氨气也是诊断人体肺部或肾脏等相关疾病的关键标志物之一。
[0003]自石墨烯发现以来，已被大量运用于氨气传感器的研究。目前，最为常见的便是石墨烯
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金属氧化物、石墨烯
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导电复合材料这两种结构的设计。石墨烯
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金属氧化物结构的设计，普遍存在工作温度过高，灵敏度低等问题；而石墨烯
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导电复合材料结构的设计虽然降低了工作温度，但仍存在制作过程复杂，性能不稳定、重复性较低等突出问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种基于硝化石墨烯的氨气传感器及其制备方法，旨在解决现有技术中石墨烯氨气传感器工作温度过高，灵敏度低，重复性差的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于硝化石墨烯的氨气传感器，其特征在于，包括基底、金属层和石墨烯层，所述金属层沉积在所述基底上，所述石墨烯层为图形转移层，并位于所述金属层的上表面。2.采用如权利要求1所述的基于硝化石墨烯的氨气传感器的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：提供基底；在所述基底上沉积金属层，并形成图案化金属结构；将石墨烯转移至所述图形化金属结构表面；图案化所述石墨烯；硝化处理后获得成品。3.如权利要求2所述的基于硝化石墨烯的氨气传感器的制备方法，其特征在于，所述基底的材料为氧化硅片、石英片、陶瓷片或玻璃片，所述氧化硅片的氧化层厚度为100nm。4.如权利要求3所述的基于硝化石墨烯的氨气传感器的制备方法，其特征在于，在所述基底上沉积金属层，并形成图案化金属结构的过程中，采用光刻技术和磁控溅射，在所述基底上沉积一层金属，沉积的金属种类为Ti、Pt、W、Al或Au。5.如权利要求4所述的基于硝化石墨烯的氨气传感器的制备方法，其特征在于，在将石墨烯转移至所述图形化金属结构表面的过程中，所述石墨烯通过化学气相沉积法生长获得，所述石墨烯层可为单层、双层或少层，少层的数值为3～10层，石墨烯通过湿法刻蚀转移至所述图形化金属结构表面。6.如权利要求5所述的基于硝化石...

【专利技术属性】
技术研发人员：李全福，陈武良，孙曼莉，徐敏华，彭慧玲，
申请(专利权)人：广西师范大学，
类型：发明
国别省市：