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具有倾斜发射器图案的垂直腔面发射激光器阵列制造技术
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下载具有倾斜发射器图案的垂直腔面发射激光器阵列的技术资料
文档序号:31501784
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一种VCSEL阵列可以包括半导体基板和在基板上的符合发射器图案的多个发射器。发射器图案可以与基板的边缘以非零角度取向,并且可以包括被布置成形成发射器图案的两个或更多个单元。两个或更多个单元中的每个单元可以包括相同数量的发射器,并且两个或更多...
该专利属于朗美通经营有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗美通经营有限责任公司授权不得商用。
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