下载研磨用组合物的浓缩液及使用其的研磨方法的技术资料

文档序号:31501564

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本发明涉及研磨用组合物的浓缩液及使用其的研磨方法。本发明目的在于,提供可以使包含氧化铝作为磨粒的研磨用组合物的浓缩液的再分散性提高的方法。提供研磨用组合物的浓缩液,其包含:颗粒状氧化铝;长径比大于5且为800以下的胶体氧化铝;选自由磷酸及其...
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