下载半绝缘单晶碳化硅块材以及粉末的技术资料

文档序号:31500515

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本申请涉及一种半绝缘单晶碳化硅块材以及粉末,包括单一多形体的单晶,半绝缘单晶碳化硅块材内具有硅空缺,其中硅空缺浓度大于5E11cm^-3。3。3。
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