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本发明提供一种薄膜制备设备及方法，包括腔体、盖板、给气装置和衬底支撑装置；腔体和盖板密封偶接，衬底支撑装置固定于腔体底部，衬底支撑装置上表面有用于支撑衬底的可移除支件；给气装置偶接于盖板上且与衬底支撑装置彼此相对，给气装置包括气体混合腔和孔...
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